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1、去离子水（Deionized Water ）：应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
2、 从自来水到去离子水一般要经过几步处理 先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子 然后加压通过反渗透膜 最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物 假如此时电阻率还没有达到要求的话 可以再进行一次离子交换和反渗透过程 而蒸馏水只是先气化再冷凝 纯度一般不如去离子水 实际半导体工业中用的大多数是去离子水 系统工艺流程：自来水-->预处理-->活性炭-->保安过滤-->反渗透-->电去离子。
本文到此讲解完毕了，希望对大家有帮助。
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